[发明专利]一种CIS玻璃罩的减薄方法在审

专利信息
申请号: 202210168379.1 申请日: 2022-02-23
公开(公告)号: CN114573238A 公开(公告)日: 2022-06-03
发明(设计)人: 李居知;周旭;李华 申请(专利权)人: 苏州轩创科技有限公司
主分类号: C03C15/00 分类号: C03C15/00;H01L27/146
代理公司: 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 代理人: 童杨益
地址: 江苏省苏州市吴江区东太湖生态旅游度假区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开一种CIS玻璃罩的减薄方法,包括以下步骤:S1、采用厚度大于500um的玻璃载板完成CIS晶圆的前段制程,然后于CIS晶圆的晶圆面涂布黏着剂,再将硅载板与晶圆面键合;S2、翻转CIS晶圆使玻璃面朝上,将玻璃面减薄到目标厚度;S3、将完成玻璃面的CIS晶圆翻转使硅载板一侧朝上,然后将玻璃面贴附在切割模框上,解键合移除晶圆面的硅载板;S4、完成后续的CIS晶圆切割即可。本发明在CIS晶圆的切割前通过晶圆面键合硅片载板进行支撑和保护,为玻璃面减薄提供应力缓冲,有效避免了玻璃面减薄时的裂片风险,同时克服了先减薄玻璃载板再进行Wafer贴合的玻璃翘曲问题。
搜索关键词: 一种 cis 玻璃罩 方法
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  • 玻璃机壳金属质感表面处理的集成式装置及方法-202310789218.9
  • 张海焜;雷彩润 - 福建硕源科技有限公司
  • 2023-06-30 - 2023-09-12 - C03C15/00
  • 本发明涉及一种玻璃机壳金属质感表面处理的集成式装置及方法,用于对玻璃机壳进行金属质感表面处理,所述液体槽设置有第一液体槽、第二液体槽、第三液体槽,所述第一液体槽设置于第二液体槽、第三液体槽之间,所述第三液体槽还设置有冷阱装置,借助各个液体槽内的气囊的膨胀与收缩,实现不同液体槽之间表面处理液体的流动,从而对第一液体槽内表面处理液体的温度进行调节。
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