[发明专利]一种变温异质界面接触电阻率测试装置与测试方法在审
| 申请号： | 202210132524.0 | 申请日： | 2022-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN114487607A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 刘睿恒;凌奕锋;刘欢;冯江河 | 申请（专利权）人： | 深圳先进电子材料国际创新研究院 |
| 主分类号： | G01R27/08 | 分类号： | G01R27/08 |
| 代理公司： | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人： | 范盈;李玉娜 |
| 地址： | 518103 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种变温异质界面接触电阻率测试装置与测试方法，测试装置包括探针测试平台，用于控制微米探针在待测样品表面的扫描；包括：微米探针座，用于夹持微米探针；变温夹持台架，用于夹持和加热待测样品；图像采集模组，用于采集待测样品的表面图像信息；位移控制单元，用于控制微米探针在待测样品表面的移动；包括X位移模组、Y位移模组和Z位移模组；其中X位移模组和Z位移模组与微米探针座相连，Y位移模组与变温夹持台架相连；电阻测量单元，与变温夹持台架和微米探针相连。本发明采用三探针法、加热控温技术和机器视觉对探针定位进行精确矫正，可精确测量不同温场工况下的电极材料与热电材料间的界面接触电阻率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 变温异质 界面 接触 电阻率 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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