[发明专利]电镀装置在审

专利信息
申请号: 202210093150.6 申请日: 2022-01-26
公开(公告)号: CN115838960A 公开(公告)日: 2023-03-24
发明(设计)人: 关耀辉;杨浩基 申请(专利权)人: 先进半导体材料(安徽)有限公司
主分类号: C25D17/02 分类号: C25D17/02;C25D17/00;C25D17/08;C25D21/14;C25D21/18
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 朱得菊;徐文欣
地址: 239004 安徽省滁州市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 一种电镀装置,包括:若干沿第一方向依次排列的反应槽,所述反应槽包括垂直于第一方向的相对的第一面和第二面,所述第一面具有贯穿所述第一面的进料口,所述第二面具有贯穿所述第二面的出料口,所述出料口与进料口垂直于反应槽底面,且所述出料口与进料口在垂直于第一方向上的中轴线重合,相邻所述反应槽中一个反应槽的第一面与另一个反应槽的第二面相邻;进料轴,用于传送待电镀阴极膜自进料口进入反应槽;收料轴,用于收集自出料口离开反应槽的阴极膜,所述进料轴、若干反应槽和收料轴沿第一方向依次排列。所述装置的镀膜效率和膜层质量得到提升。
搜索关键词: 电镀 装置
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  • 本实用新型涉及一种电镀治具及电镀装置。电镀治具包括主体、连接件和盖板。主体设置连通的第一电镀通槽与容纳槽,容纳槽用于容纳待镀膜件;连接件与主体连接;盖板可转动地与主体连接,且盖板能够相对主体转动至锁定位置和解锁位置,盖板设置第二电镀通槽,第二电镀通槽与第一电镀通槽对应设置;盖板设置卡槽,卡槽包括相连通的解锁段与锁定段,锁定段内设置有锁定部;当盖板转动至锁定位置时,连接件位于锁定段内,连接件的至少部分与锁定部相配合;当盖板转动至解锁位置时,连接件位于解锁段内,连接件与解锁段的内壁之间具有空隙。该电镀治具可同时对待镀膜件的两个表面进行电镀,且盖体与主体拆装方便,有效提高电镀效率。
  • 水平电镀槽及水平电镀装置-202321032784.7
  • 雷光才;龚庆;许应杰;张垚磊;陆健;陈海峰;黄波;钱江烽 - 江苏启威星装备科技有限公司
  • 2023-05-04 - 2023-09-26 - C25D17/02
  • 本实用新型公开了一种水平电镀槽,并公开了具有水平电镀槽的水平电镀装置,其中水平电镀槽包括槽体、上阳极件、下阳极件、承载组件及压紧组件,上阳极件和下阳极件设于槽体内,承载组件包括承载件和第一柔性件,承载件设于槽体内,并位于上阳极件和下阳极件之间,第一柔性件设于承载件,压紧组件包括压紧件和第二柔性件,压紧件设于承载件,第二柔性件设于压紧件,并与第一柔性件沿上下方向相对设置,第一柔性件和第二柔性件分别能够与待镀工件的相对的两侧抵接,使得待镀工件与第一柔性件与第二柔性件之间的接触为柔性接触,以减少第一柔性件和第二柔性件挤压待镀工件碎裂的情况发生,能够避免待镀工件发生碎片。
  • 一种电镀系统及电镀方法-202310795880.5
  • 王智文 - 王智文
  • 2023-07-01 - 2023-09-22 - C25D17/02
  • 本发明涉及电镀技术领域,更具体的说是一种电镀系统及电镀方法。电镀系统包括电解池,电解池内部固接有两个支撑板,支撑板上均固接有多个滑轨,两个对应的滑轨之间均滑动连接有滑杆,滑杆中部均固接有连接管,连接管内部均对称滑动连接有两个滑块,滑块顶端均开设有圆槽,圆槽内均滚动连接有滚珠。电镀方法包括:S1:将零件清洗,之后在零件表面喷涂活化剂;S2:喷涂完成后将零件嵌套在连接管外侧;S3:移动推杆,将滑杆与零件一起推入电解池,对零件进行一次电镀;S4:通过推杆上的卡板将推杆固定在滑轨顶部;S5:一次电镀后移动零件进行二次电镀;S6:二次电镀完成后将零件取出,之后清洗零件,完成电镀。其有益效果为便于对环状零件进行电镀。
  • 一种镀镍装置-202311036984.4
  • 张利民;罗培;向富久;张宗国;许燕飞;黎丽香;李健富;李洁云 - 江门市鼎翔电子科技有限公司
  • 2023-08-17 - 2023-09-22 - C25D17/02
  • 本发明公开一种镀镍装置,属于电镀镍技术领域;包括:内部设置有隔板的箱体,隔板将箱体的内腔分隔成电镀腔和清洗腔,隔板的顶端设置有分隔组件;箱盖,箱盖罩设在箱体上;箱盖包括分别与电镀腔和清洗腔对应设的第一封盖和第二封盖;运行轨道,包括分别开设在第一封盖和第二封盖底端的第一轨道和第二轨道,第一轨道与第二轨道的截面相同且两端对应设置并连通;移动架,用于固定工件的若干移动架分别滑动连接在第一轨道和第二轨道内,移动架通过分隔组件跨过隔板,移动架与第一轨道电性连接。本发明的结构简单,集成性好,操作简单,使用方便,可实现电镀和后续的清洗工序,中间无需人工干涉,提高了加工效率,实现了电镀过程的不间断进行。
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