[发明专利]基于平行光束分光棱镜的同轴与离轴数字全息切换装置有效

专利信息
申请号: 202210089633.9 申请日: 2022-01-25
公开(公告)号: CN114459342B 公开(公告)日: 2023-07-04
发明(设计)人: 吕晓旭;韩贤信;周成鑫;李红运;刘胜德 申请(专利权)人: 华南师范大学
主分类号: G01B9/021 分类号: G01B9/021;G01N21/45;G03H1/00;G03H1/04;G03H1/12
代理公司: 广州容大知识产权代理事务所(普通合伙) 44326 代理人: 刘新年
地址: 510000 *** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明实施例提供一种基于平行光束分光棱镜的同轴与离轴数字全息切换装置,通过将所述半波片和所述平行分束偏光棱镜插入所述参考光的光路后,旋转所述半波片至第一预设角度或第二预设角度以控制所述参考光入射到所述平行分束偏光棱镜时的偏振态,以使参考光传播方向发生或不发生偏转,得到离轴数字全息系统或同轴数字全息系统;或所述切换装置将所述半波片插入所述参考光的光路,旋转所述半波片至第一预设角度后,控制所述平行分束偏光棱镜滑入或滑出所述参考光的光路,得到同轴数字全息系统或离轴数字全息系统;可根据实际测量的需求选择同轴数字全息系统或离轴数字全息系统,整合二者的优势,无需调整系统其他部件,操作简单、快捷。
搜索关键词: 基于 平行 光束 分光 棱镜 同轴 数字 全息 切换 装置
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  • 文永富;程灏波 - 北京理工大学深圳研究院
  • 2017-05-04 - 2017-07-21 - G01B9/021
  • 摘要本发明涉及一种可柔性变倍的离轴数字全息测量装置,技术特征在于水平放置的激光器1产生的激光束后经过第一反射镜2进行反射改变光路为竖直方向,然后进入扩束准直单元3,经过第二反射镜4再次反射改变光路为水平,经过电控变焦透镜5和显微物镜6后射入分光镜7,进而产生两束光波;其中一束光波经平面镜8反射后作为参考光进入成像设备10;另一束光波经被测物体9表面反射后作为物光进入成像设备10;调节平面镜8可控制参考光与物光的夹角,使物光与参考光干涉产生离轴数字全息图并由成像设备10记录;最后采用数值重构算法计算得到被测物体的信息。该装置所采用电控变焦透镜5,具有柔性变焦功能,避免了机械移动,在系统放大倍率的调节过程中,极大地提升了调节的速度和准确度,且结构紧凑、稳定,可用于微光学元件、微电子机械系统和微光机电系统等组件的三维形貌测量。
  • 一种多波长相移显微成像系统及方法-201410757875.6
  • 赵晖;王翰林;刘满林;刘俊;张浠;安昕 - 佛山市南海区欧谱曼迪科技有限责任公司
  • 2014-12-10 - 2016-10-19 - G01B9/021
  • 本发明公开了一种多波长相移显微成像系统及方法,包括米劳干涉装置,所述米劳干涉装置进一步包括至上而下依次设置的第一显微物镜、第二显微镜、反射镜和平面分光镜,所述准直透镜将白色光源的光扩束,送入分光平板中,所述分光平板一侧设置有米劳干涉装置,另一侧设置有成像透镜,所述成像透镜的后端设置图像接收装置,所述图像接收装置连接图像处理终端,所述图像处理终端连接压电陶瓷控制器,所述压电陶瓷控制器连接压电陶瓷,所述压电陶瓷设置在米劳干涉装置上,所述图像处理终端通过压电陶瓷控制器控制设置在米劳干涉装置上的压电陶瓷发生位移运动,实现获取多波长的干涉条纹信息,所述样品台设置在米劳干涉装置下方。采用本发明能够在紧凑的光路结构中,快速获取并分析物体的表面形貌和结构,获得物体更大范围,更高精度的结构形态。
  • 一种基于光栅离焦的共路数字全息显微装置与方法-201510756850.9
  • 单明广;邓平科;钟志;张雅彬;刁鸣 - 哈尔滨工程大学
  • 2015-11-09 - 2016-03-23 - G01B9/021
  • 本发明公开了一种基于光栅离焦的共路数字全息显微装置与方法。包括光源、待测物体、显微物镜、校正物镜、第一透镜、第二透镜、图像传感器和计算机,还包括一维周期光栅和孔阵列;光源发射的光束经待测物体、显微物镜和校正物镜后入射至第一透镜,经第一透镜汇聚后的出射光束通过一维周期光栅后分成0级衍射光和+1级衍射光,经孔阵列滤波形成参考光和物光射向第二透镜,经第二透镜透射后的汇合光束由图像传感器的光接收面接收,图像传感器的图像信号输出端连接计算机的图像信号输入端;本发明简单易行,调整方便,且待测物体尺寸不受限,充分利用检测窗口视场;可极大降低确定系统载波频率的复杂度并提高相位恢复算法效率。
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