[发明专利]反光镜柔性调节装置在审
| 申请号： | 202210028444.0 | 申请日： | 2022-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN114442256A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 智慧星空（上海）工程技术有限公司;深圳智达星空科技（集团）有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/182 | 分类号： | G02B7/182;G02B7/198 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 郑纯;秦亚群 |
| 地址： | 201316 上海市浦东新区中国（上海）自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的反光镜柔性调节装置，属于集成电路装备的技术领域，至少解决现有技术中安装反光镜的方式，致使反光镜的镜片中心易变动的技术问题。包括顶板、底板、柔性铰链结构和驱动件，所述顶板的顶面嵌入有反光镜；近邻所述反光镜位置处安装所述驱动件，且，所述驱动件一端穿过所述顶板并与所述底板接触，另一端伸出所述顶板留有伸出段；所述柔性铰链结构的两端分别与所述顶板和底板连接，其中：所述驱动件转动时，带动所述顶板绕所述驱动件转动，在柔性铰链结构的作用下，反光镜的中心点保持相对位置不变。 | ||
| 搜索关键词： | 反光镜 柔性 调节 装置 | ||
【主权项】：
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