[实用新型]一种溅射靶材的清洗装夹装置有效
| 申请号： | 202122146015.7 | 申请日： | 2021-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN215466536U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;方友华 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种溅射靶材的清洗装夹装置，所述溅射靶材的清洗装夹装置设置至少一个中间装夹件和两个端装夹件，并且端装夹件包括形成L型装夹口的第一齿部和第一主体部，所述第一齿部与第一主体部之间L型装夹口呈80～100°夹角；所述中间装夹件包括形成两个L型装夹口的第二齿部和第二主体部，所述第二主体部设置在所述第二齿部的正中间，所述第二齿部和第二主体部之间两个L型装夹口均呈80～100°夹角；所述清洗装夹装置不仅能一次实现多个溅射靶材的同时清洗，而且L型装夹口有利于溅射靶材的放入和取出，提高了清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202122146015.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种应用于密室逃脱的密室智能控制电路
- 下一篇：一种超短焦镜头壳体
