[发明专利]光致抗蚀剂面漆组合物及图案形成方法在审
申请号: | 202111680559.X | 申请日: | 2021-12-27 |
公开(公告)号: | CN114690556A | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | J·凯茨;B·马尔布雷希特;王德岩;M·H·小霍华德 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限责任公司;杜邦电子公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋;乐洪咏 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
一种面漆组合物,其包含包括衍生自一种或多种式(1)的单体的重复单元的聚合物;和溶剂, |
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搜索关键词: | 光致抗蚀剂面漆 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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