[发明专利]有机膜形成材料、以及图案形成方法及聚合物在审
| 申请号： | 202111600298.6 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114690555A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 郡大佑;橘诚一郎;野中汐里;荻原勤 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038;C08G61/12 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及有机膜形成材料、以及图案形成方法及聚合物。本发明的课题是为了提供不损及树脂本身的碳含量且可展现高蚀刻耐性、优良的扭曲耐性的有机膜形成材料，以及提供使用了该有机膜形成材料的图案形成方法、及适于如此的有机膜形成材料的聚合物。该课题的解决手段为一种有机膜形成材料，其特征为含有：(A)具有下述通式(1)表示的重复单元的聚合物，及(B)有机溶剂； |
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| 搜索关键词： | 有机 形成 材料 以及 图案 方法 聚合物 | ||
【主权项】：
暂无信息
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