[发明专利]一种可垂直运动的精密气浮转台在审
申请号: | 202111503298.4 | 申请日: | 2021-12-10 |
公开(公告)号: | CN116252279A | 公开(公告)日: | 2023-06-13 |
发明(设计)人: | 龚林;王斌;牛增渊;丁辉 | 申请(专利权)人: | 江苏集萃精凯高端装备技术有限公司 |
主分类号: | B25H1/14 | 分类号: | B25H1/14 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 陈如建 |
地址: | 215300 江苏省苏州市昆山开*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种可垂直运动的精密气浮转台,包括有垂向运动模块以及设置在所述垂向运动模块上的气浮转台,所述垂直运动模块与气浮转台同轴设置;所述气浮转台包括有支撑旋转体、被所述支撑旋转体包围的气浮轴承以及设置在所述气道轴承中部的电机组件;所述垂直运动模块包括有丝杠、套设在丝杠上的丝杠套以及带动丝杠套旋转的第二电机;所述第二电机带动丝杠套旋转,丝杠将丝杠套的旋转运动转化为垂直运动,并带动所述气浮转台做垂直运动;将第一电机设置在气浮转台的中部,可以增大气浮转台的气浮面,增加了气浮转台的承载力和刚度,从而进一步提升了气浮转台的精度;在所述气浮转台的下面设置垂直运动模块,气浮转台可以进行垂向运动。 | ||
搜索关键词: | 一种 垂直 运动 精密 转台 | ||
【主权项】:
暂无信息
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