[发明专利]一种蓝宝石晶圆清洗剂及其制备方法在审
| 申请号： | 202111449111.7 | 申请日： | 2021-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN114106934A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 刘小勇;邱小真;房龙翔;叶鑫煌;李丛香;刘文生;肖小江 | 申请（专利权）人： | 福建省佑达环保材料有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/34 | 分类号： | C11D1/34;C11D3/04;C11D3/08;C11D3/10;C11D3/20;C11D3/30;C11D3/33;C11D3/60;C11D11/00 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 俞舟舟;蔡学俊 |
| 地址： | 362800 福建省泉州市泉*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蓝宝石晶圆清洗剂及其制备方法，该清洗剂由无机碱、有机碱、螯合剂、有机助剂、阴离子表面活性及高纯水组成。本发明通过特定的阴离子表面活性剂与无机强碱混配，能有效解决现有技术中蓝宝石晶圆制程工艺中线切清洗、研磨后清洗、退火前清洗以及上蜡前清洗洗剂的四合一，有利于提高蓝宝石晶圆的清洗效果，有效减少蓝宝石上污染物的残留数量，在优化客户工艺制程的同时大大降低了客户成本且环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 晶圆清 洗剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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