[发明专利]一种气浮转台在审

专利信息
申请号: 202111199212.3 申请日: 2021-10-14
公开(公告)号: CN113898671A 公开(公告)日: 2022-01-07
发明(设计)人: 陈万群;滕翔宇;霍德鸿;陈高强;丁辉 申请(专利权)人: 江苏集萃精凯高端装备技术有限公司
主分类号: F16C32/06 分类号: F16C32/06;F16F15/02;G01D11/00
代理公司: 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 代理人: 龙涛
地址: 215335 江苏省苏州市昆山开*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种气浮转台,涉及精密仪器领域。包括转台、导气轴承、主轴、底座,底座顶端与导气轴承底端固定连接,主轴安装于导气轴承内部,主轴与导气轴承间隙配合形成腔体,主轴顶端与转台固定连接;还包括电机,电机滑动连接于底座内部,电机动力输出端与主轴连接;导气轴承内部设置有导气机构,导气机构用于向腔体内输送高压空气。本发明可通过控制电控面板根据导气机构内部的压力值控制电控三通阀和电控出气阀的开闭面积,实现转轴的平稳升降,保证气浮平台的精密性。
搜索关键词: 一种 转台
【主权项】:
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