[发明专利]一种超精密机床的跟踪误差识别与补偿方法有效

专利信息
申请号: 202111111249.6 申请日: 2021-09-18
公开(公告)号: CN113759823B 公开(公告)日: 2023-02-03
发明(设计)人: 阳红;付思源;孙守利;张敏;刘有海;戴晓静;尹承真;杨光伟;姜忠;段方;梅斌 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
主分类号: G05B19/404 分类号: G05B19/404
代理公司: 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人: 王鹏程
地址: 621000*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种超精密机床的跟踪误差识别与补偿方法,包括以下步骤:获得机床控制模块的传递函数;获得机床结构模块的传递函数;耦合控制模块的传递函数和结构模块,获得微纳运动台开环状态和闭环状态下的传递函数;建立跟踪误差补偿模型;建立超精密机床直线轴的理论运动轨迹,确定理论指令值,结合光栅信号的实时反馈,计算出跟踪误差的补偿量,发送到微纳运动台实现误差补偿;获得补偿后的传递函数。本发明针对精密车床的直线轴跟踪误差,探究动态跟踪误差的影响规律,进而通过微纳运动平台提出了宏微双驱动的在线误差补偿策略,最终提升加工精度。
搜索关键词: 一种 精密 机床 跟踪 误差 识别 补偿 方法
【主权项】:
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