[发明专利]一种微动台气浮支撑装置有效

专利信息
申请号: 202111110621.1 申请日: 2021-09-22
公开(公告)号: CN113917795B 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 吴剑威;赵鹏越;刘江;郑健;王继尧;李昌其;谭久彬 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 颜希文;宋亚楠
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 发明涉及半导体加工技术领域,公开了一种微动台气浮支撑装置,包括基座、能够在基座上悬浮的气浮模块、以及位于气浮模块上的连接结构,气浮模块用于支撑连接结构,连接结构用于支撑微动台;气浮模块包括外部框架、调节框架及负压调节板;负压调节框架通过若干个调平螺栓与外部框架相连接;外部框架的外侧设有正压进气孔和负压进气孔,外部框架的下端设有正压排气孔集群;外部框架的中部设有负压腔体,负压腔体的上端设有通槽,负压调节板位于通槽处并与通槽之间密封,负压腔体的边缘还设有与负压排气腔连通的负压排气孔。本发明实施例通过负压调节板的水平姿态改变调整气膜厚度,进而调节气浮模块的水平姿态,提高微动台的水平姿态精度。
搜索关键词: 一种 微动 台气浮 支撑 装置
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  • 一种光刻用光纤束以及光刻机-202210152726.1
  • 李西军 - 西湖大学
  • 2022-02-18 - 2022-05-13 - G03F7/20
  • 本公开实施例提供一种光刻用光纤束以及光刻机,所述光刻用光纤束能够至少接收波长不同的曝光高斯光束和退激发高斯光束,其至少包括一根光刻光纤,所述光刻光纤包括用于传输光束的光纤芯,在所述光纤芯的外侧包围设置光纤包层,在所述光纤包层的入射端处设置螺旋相位结构,所述螺旋相位结构用于使得所述退激发高斯光束转换形成甜甜圈状的结构光光束,在所述光纤包层的出射端的外侧设置透镜结构。本公开实施例能够将曝光用光能量直接从光源传递到光刻胶表面,不需要透镜和透镜组,系统易于安装、占据空间小、成本和维护成本也降低;利用单根光纤可以实现至少两束波长不同的光束的同时和同轴传播,大大降低双光束光刻技术空间透镜组调节的技术难度。
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