[发明专利]一种微动台气浮支撑装置有效
| 申请号： | 202111110621.1 | 申请日： | 2021-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN113917795B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 吴剑威;赵鹏越;刘江;郑健;王继尧;李昌其;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;宋亚楠 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种微动台气浮支撑装置，包括基座、能够在基座上悬浮的气浮模块、以及位于气浮模块上的连接结构，气浮模块用于支撑连接结构，连接结构用于支撑微动台；气浮模块包括外部框架、调节框架及负压调节板；负压调节框架通过若干个调平螺栓与外部框架相连接；外部框架的外侧设有正压进气孔和负压进气孔，外部框架的下端设有正压排气孔集群；外部框架的中部设有负压腔体，负压腔体的上端设有通槽，负压调节板位于通槽处并与通槽之间密封，负压腔体的边缘还设有与负压排气腔连通的负压排气孔。本发明实施例通过负压调节板的水平姿态改变调整气膜厚度，进而调节气浮模块的水平姿态，提高微动台的水平姿态精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微动 台气浮 支撑 装置 | ||
【主权项】：
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