[发明专利]一种振镜重复定位精度检测装置和方法有效
| 申请号： | 202110867454.9 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113310672B | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 王雪辉;戚云飞;许维;雷桂明 | 申请（专利权）人： | 武汉华工激光工程有限责任公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人： | 吴倩;龚建蓉 |
| 地址： | 430223 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种振镜重复定位精度检测装置及方法，其包括：激光器组件、准直扩束镜、分光镜、振镜、第一聚焦镜头、第一图像传感器、第二聚焦镜头、第二图像传感器、振镜控制组件、控制单元以及计算单元；所述第一传感器用于获取所述参考光束的光斑图像；所述第二图像传感器用于获取所述测试光束的光斑图像；所述控制单元用于通过振镜控制组件控制所述振镜进行若干次扫描；所述计算单元用于获取振镜完成若干次扫描后的真实角度误差。其通过将激光光束分为参考光束和测试光束，并获取两路光束的光斑图像抵消掉误差，从而使振镜的位置检测结果更为精确，且可以大幅提高检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 重复 定位 精度 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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