[发明专利]一种透明高阻隔氧化铝膜的制备方法及其装置有效
| 申请号： | 202110825967.3 | 申请日： | 2021-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN113564535B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 林武辉;符坚;时蕊花;吴昊 | 申请（专利权）人： | 浙江海顺新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/08;C23C14/56;C23C14/58;B05C1/12;B05C9/04;B05C9/06;B05C9/14;B05D3/02;B05D5/00 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 张抗震 |
| 地址： | 314009 浙江省湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及氧化铝膜的制备领域，具体的是一种透明高阻隔氧化铝膜的制备方法及其装置，包括传送装置和收卷装置，传送装置和收卷装置之间缠绕有PET膜基材，底板靠近传送装置的一侧上方为真空室，传送装置的上方设置有水平驱动机构，水平驱动机构的底端安装有镀膜机构，镀膜机构设置在PET膜基材的正上方；传送装置和收卷装置之间设置有支撑架，支撑架内设置有高度可调的加热棒，支撑架的两端分别设置有阻隔涂层涂布机构和第一热封涂层涂布机构，支撑架和收卷装置之间设置有第二热封涂层涂布机构。使用时，PET膜基材镀膜后穿出真空室，然后经过涂布、张紧、初步烘干，最后利用收卷装置进行收卷，得到透明高阻隔氧化铝膜成品，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 阻隔 氧化铝 制备 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
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- 本实用新型公开了一种用于TVS芯片加工的蒸镀设备，包括：箱体，底座，所述底座安装在箱体内壁的底部，加热坩埚组件，所述加热坩埚组件设置在底座的顶部，驱动夹持机构，所述驱动夹持机构设置在箱体上，所述驱动夹持机构包括伺服电机，所述伺服电机安装在箱体内壁顶部的左侧，所述伺服电机输出轴的底端安装有螺纹杆。本实用新型通过伺服电机、螺纹杆、活动板、移动板、安装板、旋转电机、环形板、环形壳、驱动电机、环形块、固定块、滑槽、滑杆、滑块、夹块和缓冲弹簧的相互配合，从而方便同时对多个芯片进行蒸镀加工，提高了效率，而且保证了芯片蒸镀时的均匀性，避免出现芯片蒸镀厚度不一的现象，而且保证了芯片蒸镀时的稳定性。
- 一种真空蒸镀装置和真空蒸镀方法-202310530887.4
- 熊继光;肖平;赵志国;赵东明;李梦洁;秦校军;秦文涛;伏丰义 - 华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司
- 2023-05-11 - 2023-08-04 - C23C14/26
- 本发明公开了一种真空蒸镀装置和真空蒸镀方法。该真空蒸镀装置包括蒸发舟，设有多个蒸镀空间，蒸镀空间设有蒸发口；阻蒸电极柱，用于对蒸发舟进行加热；调节板，转动设置于蒸发口，调节板上设有映射调节口，调节板上还设置有用于调节映射调节口的大小和形状的映射口调节组件；真空镀膜厚度测量仪，真空镀膜厚度测量仪的测量探头设置于蒸发口；中央控制器，与真空镀膜厚度测量仪和调节板之间信号连接。该真空蒸镀装置能够在大面积基片旋转蒸镀中，实时调节每个调节板的转动角度和映射调节口的大小与形状，使蒸发口的开度和映射调节口的开度得到调节，从而调节大面积基片径向方向的薄膜沉积均匀性，使得薄膜均匀性和一致性得到提升。
- 高性能导电条用金属材料制备工艺-202110780327.5
- 陆新华 - 如皋市凯源电器设备有限公司
- 2021-07-10 - 2023-08-04 - C23C14/26
- 本发明公开了高性能导电条用金属材料制备工艺，该金属材料由以下原料配制而成：以银离子混合液11.6%‑13.6%，铝粉61.5%‑63.5%、铜粉 13.6%‑15.6%、碳7.3%‑9.3%作为主要原料，以锰 0.3%、锌 1.6%、镁粉 0.017%作为辅料，本发明通过在铝和铜的基础上添加了银、锰、镁、锌等导电性能良好的金属材料，并将其混合后的晶体材料通过真空蒸发法制成了金属导电薄膜，可用于贴附在导电条的金属基片表面，增加了导电率的同时又对导电条进行了有效保护，使导电条具有更高的导电性能，应用范围更加广泛。
- 一种珠光膜镀铝设备-202223007271.9
- 计宪丰;计者 - 浙江雅洲新材料有限公司
- 2022-11-11 - 2023-08-04 - C23C14/26
- 本实用新型公开了一种珠光膜镀铝设备，包括真空蒸镀机本体和蒸发罐，还包括存舟机构，所述存舟机构包括安装板、U形框、胶盒、蒸发舟、耳座、转孔、转杆、封板和磁块，所述真空蒸镀机本体的箱体一侧安装有用于珠光膜镀铝时进行铝料蒸发供料的蒸发罐，借助存舟机构在真空蒸镀机本体外侧蒸发罐表面的设置，使得真空蒸镀机本体的蒸发罐表面可以就近存放用于更换的蒸发舟，从而避免技术人员在真空蒸镀机本体维护停机时再去仓库调用新的蒸发舟损耗过多维护时间，避免真空蒸镀机本体的蒸发罐更换蒸发舟时损耗过多时间影响珠光膜镀铝的订单生产时间。
- 一种具有点状蒸发镀膜源的卧式真空镀膜器-202320509909.4
- 汪达文;汪友林;陆作军 - 森科五金（深圳）有限公司
- 2023-03-08 - 2023-08-01 - C23C14/26
- 本实用新型公开了一种具有点状蒸发镀膜源的卧式真空镀膜器，属于真空镀膜领域。包括有卧式真空管、点状蒸发源组件，卧式真空管包括有进口插板阀、出口插板阀以及横向设置的管体，进口插板阀、出口插板阀分别安装在管体的前后两端形成镀膜空间，点状蒸发源组件设置在真空室内。本实用新型的优势在于：相比于现有技术，本实用新型的卧式真空镀膜器将卧式真空管和点状蒸发源相结合，为工件构造出了独立的镀膜空间，且相邻的卧式真空镀膜器可以通过进口插板阀与出口插板阀密封连接形成连续的镀膜生产线，工件可以依次经过一个个真空镀膜器进行连续镀膜而不会破坏真空环境，实现连续镀膜，提升镀膜效率。
- 一种蒸镀装置及蒸镀方法-202110665054.X
- 郑子明 - TCL华星光电技术有限公司
- 2021-06-16 - 2023-07-25 - C23C14/26
- 本发明涉及一种蒸镀装置及蒸镀方法。蒸镀装置包括：材料蒸发室、蒸汽喷射室、旋转平台、至少一个导管、旋转电机、至少一个喷嘴、多个加热丝等结构。本发明在所述材料蒸发室上方连接旋转平台，当蒸镀材料时，通过旋转电机驱动旋转平台顺时针、逆时针交替旋转，旋转平台带动材料蒸发室顺时针、逆时针交替旋转，增加蒸镀材料的受热面积，增加蒸镀材料的受热均匀性，提升蒸镀装置的蒸镀速率稳定性及生产良率；所述材料蒸发室、所述蒸汽喷射室以及所述导管皆均匀设置加热丝，降低蒸镀装置加热丝的制作工艺难度及成本。
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