[发明专利]阵列基板及其制备方法、显示面板在审

专利信息
申请号: 202110804401.2 申请日: 2021-07-16
公开(公告)号: CN113594178A 公开(公告)日: 2021-11-02
发明(设计)人: 王旭;徐洪远;江志雄;胡道兵 申请(专利权)人: TCL华星光电技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 远明
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种阵列基板及其制备方法、显示面板,该阵列基板包括衬底和设置于衬底上的低温多晶硅薄膜晶体管。其中,低温多晶硅薄膜晶体管包括第一有源层,第一有源层包括层叠设置的多晶硅层和非晶硅层。本发明通过将低温多晶硅薄膜晶体管的有源层设置为多晶硅层和非晶硅层的双层结构,因此无需传统的低温多晶硅薄膜晶体管制程中对有源层进行离子掺杂,可以减少光罩使用数量,从而精简制程,降低成本。
搜索关键词: 阵列 及其 制备 方法 显示 面板
【主权项】:
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