[发明专利]悬浮液、研磨液及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110780254.X 申请日: 2021-07-09
公开(公告)号: CN113698914A 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 周一;毕洪伟;彭杰 申请(专利权)人: 威科赛乐微电子股份有限公司
主分类号: C09K3/14 分类号: C09K3/14;B24B1/00
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 黄宗波
地址: 404000 重庆市*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明公开了悬浮液、研磨液及其制备方法,涉及半导体材料技术领域。本发明的悬浮液,所述悬浮液的原料包括十二烷基苯磺酸钠、三聚磷酸钠、丙烯酰胺‑丙烯酸钠聚合物、磺甲基化聚丙烯酰胺、n‑羟甲基化丙烯酰胺、植酸、水,所述研磨液包括以下原料:研磨粉、研磨油、悬浮液、去离子水。本发明公开了悬浮液、研磨液及其制备方法,使用了本发明悬浮液的研磨液,具有良好的均匀性,悬浮液能够有效减少研磨液中研磨粉在混合物中的堆积沉淀,进而保证了晶片研磨质量。
搜索关键词: 悬浮液 研磨 及其 制备 方法
【主权项】:
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