[发明专利]一种基于随机三步移相干涉的面形重构方法有效

专利信息
申请号: 202110778021.6 申请日: 2021-07-09
公开(公告)号: CN113390365B 公开(公告)日: 2022-12-06
发明(设计)人: 朱学亮;郝怡蕾;李靓;田爱玲;王红军;刘丙才 申请(专利权)人: 西安工业大学
主分类号: G01B11/25 分类号: G01B11/25
代理公司: 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 代理人: 李凤鸣
地址: 710032 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明属于光学检测技术领域,具体涉及一种基于随机三步移相干涉的面形重构方法。为解决现有的两步相移相位解调技术受背景光强获取精度影响的问题,本发明所提供的技术方案是:随机获取三步相移干涉图,通过基于二维多项式与最小二乘法相结合算法对这三幅干涉条纹图求解出相移量12,从而求得包裹相位;对求得的包裹相位值进行相位解包,并利用Zernike波面拟合算法对连续相位进行拟合运算,得到待测面的面形信息。本发明通过干涉条纹图间的差运算,从而正确去除了背景光强,提高了相位计算精度,并且具有面形恢复的准确性以及较好的鲁棒性。
搜索关键词: 一种 基于 随机 三步移 相干 面形重构 方法
【主权项】:
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