[发明专利]金锡烧结的氮气保护装置及具有其的恒温型共晶机有效
| 申请号： | 202110769360.8 | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN113492245B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 张意驰;常农凯;闫志峰 | 申请（专利权）人： | 河北博威集成电路有限公司 |
| 主分类号： | B23K3/08 | 分类号： | B23K3/08;H01L21/60 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 柳萌 |
| 地址： | 050051 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种金锡烧结的氮气保护装置及具有其的恒温型共晶机。金锡烧结的氮气保护装置包括保护盒、两个输气管、两个分散壳及底片。保护盒的盒体中部设有上下贯穿的通口，在盒体两侧侧壁上各设有一个进气口。输气管分别与一个进气口连通。两个分散壳位于盒体内，并分别临近其中一个进气口。分散壳开设有若干气孔。底片设于盒体外部，底片具有与通口正对的作业口。在金锡烧结时，通口可供芯片通过并被放置在管壳上方，盒体内的两股氮气流从管壳处相遇，并对管壳和芯片提供氮气保护。分散壳上的气孔能够使氮气分散均匀，形成一股平稳氮气流。由于盒体底部设有底片且盒体内的两股氮气流从管壳处相遇，故金锡烧结时能够对管壳和芯片提供氮气保护。 | ||
| 搜索关键词： | 烧结 氮气 保护装置 具有 恒温 型共晶机 | ||
【主权项】：
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