[发明专利]一种高灵敏度声表面波二氧化氮传感器有效
申请号: | 202110754176.6 | 申请日: | 2021-07-05 |
公开(公告)号: | CN113252775B | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
发明(设计)人: | 周剑;熊硕;段辉高;张定红;詹正佳;刘炀辉 | 申请(专利权)人: | 湖南大学 |
主分类号: | G01N29/02 | 分类号: | G01N29/02 |
代理公司: | 长沙明新专利代理事务所(普通合伙) 43222 | 代理人: | 叶舟 |
地址: | 410000 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: |
本发明提供了一种高灵敏度声表面波二氧化氮传感器,从下至上依次包括压电衬底、电极层以及经紫外光辐照进行NO |
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搜索关键词: | 一种 灵敏度 表面波 二氧化氮 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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