[发明专利]一种晶圆类产品电镀挂具的自动上下料机构在审
| 申请号： | 202110746470.2 | 申请日： | 2021-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN113249774A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 续振林;李山水;李毅峰;朱石宝;陈妙芳 | 申请（专利权）人： | 厦门柔性电子研究院有限公司;厦门钜德电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D21/10 | 分类号： | C25D21/10;C25D17/08;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 | 代理人： | 高会会 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市中国(福建)自由贸易*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆类产品电镀挂具的自动上下料机构，包括Y向挂具插座、电镀挂具、X向滑动组件、P轴翻转驱动组件、翻转支撑组件以及上下料吸盘组件；电镀挂具插设在所述Y向挂具插座上，且至少一侧面设有一料槽；所述P轴翻转驱动组件位于电镀挂具的料槽侧，并通过X向滑动组件的带动沿X向靠近或远离所述电镀挂具；上下料吸盘组件通过所述翻转支撑组件连接所述P轴翻转驱动组件上，且所述P轴翻转驱动组件驱动所述翻转支撑组件在沿P轴翻转以及沿X向移动时，能带动所述上下料吸盘组件对准所述料槽完成晶圆类产品的上料或下料。本发明可实现产品的自动上下料操作，设备操作及控制更灵活，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 类产品 电镀 自动 上下 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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