[发明专利]一种用于金属管内壁改性的装置及方法有效

专利信息
申请号: 202110743167.7 申请日: 2021-07-01
公开(公告)号: CN113549892B 公开(公告)日: 2023-06-16
发明(设计)人: 黄绍服;曾祥领;李君 申请(专利权)人: 安徽理工大学
主分类号: C23C16/04 分类号: C23C16/04;C23C16/507
代理公司: 北京麦宝利知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11733 代理人: 赵艳红
地址: 232001 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提出了一种用于小直径大深径比的金属管内壁改性的装置及方法,装置包括:反应腔室,待改性金属管设置在反应腔室中;反应腔室包括第一开口和第二开口,第一开口连通供气管路,第二开口连接真空泵;供气单元,用于向反应腔室内通入反应气流,供气单元通过供气管路与反应腔室连通;等离子体发生单元,位于供气单元与反应腔室之间,用于在供气管路内产生等离子体,等离子体随反应气流由供气管路进入反应腔室内;加热单元,用于对待改性金属管加热;电磁单元,产生电场和磁场,用于约束和控制进入反应腔室的等离子体束流,使等离子体在加热后的待改性金属管的内壁沉积。本发明的装置适用于低温、高长径比金属管内壁的改性。
搜索关键词: 一种 用于 金属管 内壁 改性 装置 方法
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