[发明专利]X射线光电子能谱仪用长效真空转移样品台及转移方法在审
| 申请号： | 202110730216.3 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN113447513A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 杨磊;宋凯;崔喜平;曾岗;郑振;洪光辉;李雪;张杰 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N23/2273 | 分类号： | G01N23/2273;G01N23/2204 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 牟永林 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | X射线光电子能谱仪用长效真空转移样品台及转移方法，本发明涉及电子能谱仪转移样品台及转移方法，本发明的目的是解决现有保持真空度有效时间较短，无法实现长效真空环境，它包括炉体它包括保护罩、电池单元、样品台单元和底座，电池单元和样品台单元固定安装在底座上端面上，保护罩扣装在底座上，电池单元与样品台单元连接并对样品台单元供电。本发明用于真空样品转移领域。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 光电子 能谱仪用 长效 真空 转移 样品 方法 | ||
【主权项】：
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