[发明专利]一种用于红外探测器小孔腐蚀的腐蚀液及方法有效
| 申请号： | 202110692055.3 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113621374B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 黄立;李胜利;马占锋;高健飞;黄晟;罗学强 | 申请（专利权）人： | 武汉高芯科技有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/04 | 分类号： | C09K13/04;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 徐瑛 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于红外探测器小孔腐蚀的腐蚀液，包括作为溶剂的水，以及溶于水中的溶质，所述溶质包括盐酸、醋酸和氯化锌。另外，本发明还提供了红外探测器小孔腐蚀方法，包括在衬底牺牲层上沉积硫化锌层，作为增透膜；在硫化锌层上沉积非晶硅层，作为红外透过层和硫化锌湿法腐蚀的硬掩模版；对非晶硅层进行光刻、干法刻蚀和去胶，得到释放孔前驱体；用上述腐蚀液对硫化锌层进行单片式湿法腐蚀，得到所需要的小孔。该发明以盐酸作为腐蚀剂，并在盐酸中引入水、醋酸和氯化锌分别作为稀释剂、缓冲剂和保护剂，有效避免了硫化锌湿法腐蚀过程中的浮胶现象，显著改善了硫化锌侧向钻蚀严重的问题，解决了微尺寸孔湿法腐蚀的难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 红外探测器 小孔 腐蚀 方法 | ||
【主权项】：
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