[发明专利]氢气传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110592855.8 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113533257B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 金崇君;佘晓毅;姚乾坤;沈杨 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01N21/49 | 分类号： | G01N21/49 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 侯武娇 |
| 地址： | 510300 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氢气传感器及其制备方法，该氢气传感器包括衬底和氢敏薄膜。衬底包括支撑区和悬空区，衬底在悬空区设有凹槽。氢敏薄膜设于衬底的支撑区和悬空区上；在支撑区，氢敏薄膜与衬底贴合；在悬空区，氢敏薄膜与衬底的凹槽底壁之间具有间隙。上述氢气传感器采用具有凹槽的衬底，使得氢敏薄膜在该悬空区为悬空状态，悬空区的氢敏薄膜为近自由状态；相比于受衬底束缚的支撑区的氢敏薄膜，其在吸氢时具有更大的形变，对入射光的反射效果变化迅速，反射率极速下降，从而产生更强的光散射，同时具有更快的响应速度。由于悬空区的氢敏薄膜受衬底的影响很小，在长时间使用后的传感效果不会有很大影响，因此使得该氢气传感器具有更长的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 氢气 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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