[发明专利]一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置在审

专利信息
申请号: 202110591637.2 申请日: 2021-05-28
公开(公告)号: CN113400131A 公开(公告)日: 2021-09-17
发明(设计)人: 邢春晓;沈黎艳 申请(专利权)人: 力成科技(苏州)有限公司
主分类号: B24B9/06 分类号: B24B9/06;B24B41/06;B24B41/00;B24B41/02;B24B47/04;H01L21/02;H01L21/67
代理公司: 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 代理人: 丰叶
地址: 215000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置,包括底板,所述底板左侧固定连接有侧板,所述侧板顶部固定连接有水平向右侧伸出顶板,所述底板上方通过下连接座转动连接有下转盘,所述顶板上滑动连接有上连接座,所述上连接座的下端面上转动连接有上转盘,所述顶板上固定连接有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的伸缩杆末端与上转盘固定连接,所述顶板的右侧固定连接有安装板,所述安装板上滑动连接有活动板,所述活动板上固定连接有电机,所述电机的输出轴末端固定连接有金刚石砂轮,所述活动板与安装板之间设置有位置调节装置。本发明设计合理,操作便捷,有效避晶圆边缘碎裂状况。
搜索关键词: 一种 改善 边缘 碎裂 装置
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  • 2023-05-09 - 2023-10-13 - B24B9/06
  • 本实用新型公开了一种碳碳材料薄壁筒加工工装,属于碳碳材料加工技术领域。一种碳碳材料薄壁筒加工工装,包括固定架及安装在固定架一侧的驱动部,所述驱动部的输出端固定有转动位于固定架内侧壁处的转盘,所述转盘的表面设有安装槽,所述安装槽的内壁连接有可拆卸式的连接盘;本实用新型通过环形支撑筒对薄壁筒支撑的同时,还有助于配合限位环及凹型架等结构组成的限位件,在连接丝杆与紧固套配合的锁紧下,能够紧密对环形支撑筒表面套设的薄壁筒进行夹紧,这样设计,能够有效避免一些传统直接对薄壁筒表面夹持及薄壁筒在加工存在发生变形的问题,使该工装更有利于配合外部的加工装置对薄壁筒进行高效加工。
  • 一种适用于石英加工的倒角打磨装置-202321323273.0
  • 罗松柏;聂传东 - 荆州市兴斌新材料有限公司
  • 2023-05-29 - 2023-10-13 - B24B9/06
  • 本实用新型涉及打磨设备领域,公开了一种适用于石英加工的倒角打磨装置,包括工作台,所述工作台的顶部安装有打磨机构,工作台的顶部滑动安装有移动座,移动座的顶部转动安装有转动盘,转动盘上固定安装有控制箱,控制箱的移动安装有固定组件,所述移动座的顶部开设有凹槽,凹槽的底部内壁上转动安装有驱动轴,驱动轴的顶端固定安装在转动盘上,凹槽的两侧内壁上均开设有矩形槽,两个矩形槽内滑动安装有同一个齿条座,驱动轴上固定安装有转动齿轮,且齿条座与转动齿轮相啮合。本实用新型具有以下优点和效果:便于对石英与打磨机构之间的间距和角度进行调节,能够实现对石英打磨不同的倒角的目的。
  • 力控打磨装置和力控打磨设备-202321172095.6
  • 刘绍宏;陈永祥;钱阳春;蔡博文 - 芜湖神剑裕昌新材料有限公司
  • 2023-05-15 - 2023-10-13 - B24B9/06
  • 本实用新型涉及一种力控打磨装置和力控打磨设备,包括至少两个打磨头;与打磨头数量相等的力控器,每个力控器与对应的打磨头相连接;与力控器数量相等的径向浮动机构,每个径向浮动机构的一端与对应的力控器相连接,每个径向浮动机构的另一端均与固定架相连接,径向浮动机构包括固定状态和浮动状态,当径向浮动机构处于固定状态时,打磨头的轴线与径向浮动机构的轴线位于同一直线上,当径向浮动机构处于浮动状态时,打磨头的轴线相对径向浮动机构的轴线径向移动。本实用新型的力控打磨装置和力控打磨设备,通过至少两个打磨头配合独立的力控器和径向浮动机构,打磨效率高,打磨的产品质量好,能够应用于复杂表面的打磨。
  • 一种陶瓷修补设备-202310904251.1
  • 吴逸菲;王雨辰;王炳才 - 泰州水冶新材料科技有限公司
  • 2023-07-24 - 2023-10-10 - B24B9/06
  • 本发明属于陶瓷修补领域,具体的说是一种陶瓷修补设备,包括修复箱;两个多轴支撑架,两个上述多轴支撑架位于修复箱的内部;加热组件,上述加热组件为了修复箱的内部靠上下两侧,上述加热组件用于烘干陶瓷件;机械爪,上述机械爪固接在多轴支撑架的端部;移动组件,上述移动组件连接在多轴支撑架远离机械爪的一端,上述移动组件用于带动多轴支撑架多角度移动;通过移动组件让两个陶瓷块进行拼合,从而可以根据拼合的状态进行打磨调整,且全程不需要手抓陶瓷块,解放了双手,提高了操作空间,降低了操作难度,在打磨结束后,需要对缝隙处进行涂泥黏合,涂好后使用加热组件进行加热,让两个陶瓷块彻底连接,之后进行表面打磨后完成修补工作。
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