[发明专利]一种高能带电粒子成像装置有效
| 申请号： | 202110586767.7 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113325012B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 周征;王建新;肖德鑫;王汉斌;劳成龙;陈立均;张鹏;李鹏;周奎;吴岱 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 于晶晶 |
| 地址： | 621900 四川省绵阳市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高能带电粒子成像装置，属于带电粒子成像技术领域，依次包括共光轴设置的粒子源、束流匹配传输段、等离子体成像透镜组和探测系统，本发明采用粒子源、束流匹配传输段、等离子体成像透镜组和探测系统组成高能带电粒子成像系统，结构简单且紧凑，提升了高能带电粒子的适用性，丰富了高能带电粒子的应用场景，同时，利用等离子体成像透镜的高梯度优势，降低高阶成像误差，提升高能带电粒子成像装置的空间分辨能力，调节便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高能 带电 粒子 成像 装置 | ||
【主权项】：
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