[发明专利]斜式罗茨螺杆复合真空泵有效
| 申请号： | 202110582281.6 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113107850B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李坤 | 申请（专利权）人： | 威鹏晟（山东）真空技术有限公司 |
| 主分类号： | F04C25/02 | 分类号： | F04C25/02;F04C18/12;F04C18/16;F04C27/00;F04C29/00;F04C29/02;F04C29/04 |
| 代理公司： | 济南帮友知识产权代理事务所(普通合伙) 37269 | 代理人： | 唐晓刚 |
| 地址： | 264200 山东省威海市环翠*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种斜式罗茨螺杆复合真空泵，其设有泵体，泵体的内部设有前置内腔体和复合转子内腔体，复合转子内腔体中设有一对互相啮合的复合转子，复合转子相邻固定设有螺杆泵转子，螺杆泵转子上设有螺杆泵转子叶轮，螺杆泵转子相邻固定设有罗茨泵转子，罗茨泵转子圆周方向设有罗茨泵转子叶片，罗茨泵转子叶片之间设有罗茨泵转子啮合曲面，前置内腔体中设有互相啮合的同步齿轮为斜齿轮啮合，相邻两个罗茨泵转子叶片之间设有的罗茨泵转子啮合曲面为斜型曲面啮合。其解决了罗茨转子和螺杆转子的旋转啮合不稳定，真空泵的可靠性低，工作寿命短的技术问题。本发明可广泛应用于半导体行业工艺室的真空处理和显示器设备工艺室的真空处理中。 | ||
| 搜索关键词： | 斜式罗茨 螺杆 复合 真空泵 | ||
【主权项】：
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