[发明专利]玻璃粉滚磨装置及采用该装置的混合加工设备

摘要

本发明公开了一种玻璃粉滚磨装置，涉及半导体器件加工领域技术领域。本发明中：包括动力装置、支撑架以及混合玻璃粉用的陶瓷罐，支撑架上侧转动配置有一组转轴杆，动力装置通过传动结构与转轴杆连接。一组转轴杆的内侧相对端共同固定连接有一固定卡套结构，固定卡套结构内设有开放式的卡套内槽，陶瓷罐放置在固定卡套结构的卡套内槽中。固定卡套结构上活动安装有位于卡套内槽开口侧的活动卡套结构。本发明避免了陶瓷罐与设备的其他部位发生摩擦，可实现基本无磨损，大幅度增加了陶瓷罐以及设备的使用寿命，实现了静音作业，改良了作业环境。