[发明专利]基于多频点信息融合的太赫兹材料微纳缺陷检测装置与方法有效
| 申请号： | 202110546789.0 | 申请日： | 2021-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN113281298B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 梁晓林;年夫顺;姜万顺;朱伟峰;邓建钦 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 |
| 主分类号： | G01N21/3586 | 分类号： | G01N21/3586;G01N21/01;G06T7/00;G06T5/50;G06T3/40 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 祖之强 |
| 地址： | 266555 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于多频点信息融合的太赫兹材料微纳缺陷检测装置与方法。该装置包括：微波激励源、太赫兹收发模块、镜面组合模块、纳米探针、振荡信号源、锁相放大器和上位机；微波激励源，用于产生输入太赫兹收发模块的输入信号，以及输入锁相放大器的混频信号；太赫兹收发模块，用于连续辐射太赫兹波并接收由纳米探针局域增强且被调制的消逝信号；镜面组合模块，用于将太赫兹收发模块辐射的太赫兹波束在纳米探针针尖处紧耦合，并将纳米探针局域增强且被调制的消逝信号反射回太赫兹收发模块；振荡信号源，用于产生控制纳米探针的第一信号，以及输入锁相放大器的第二信号。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 多频点 信息 融合 赫兹 材料 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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