[发明专利]一种声波传感器在审
| 申请号： | 202110532402.6 | 申请日： | 2021-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN113432705A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 李永选 | 申请（专利权）人： | 李永选 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00;G01B11/16;G01B11/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 711700 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于传感装置技术领域，具体涉及一种声波传感器，包括壳体，所述壳体内壁的一侧设置有激光器，所述激光器底端设置有探测器，所述壳体内壁底端远离激光器的一侧设置有衬底，所述衬底远离激光器的一侧设置有纳米团簇，所述纳米团簇远离衬底的一侧设置有反光部，所述反光部远离纳米团簇的一侧设置有悬臂梁。本发明采用悬臂梁感应声波，悬臂梁的高机械灵敏度使得传感器具有较高的灵敏度，而且通过纳米团簇和反光部之间微小间距的变化，改变反射光的波长，进而测量声波，具有非常高的精确度和灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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