[发明专利]一种实现真空上下腔快速接触密封机构

摘要

本发明提供了一种实现真空上下腔快速接触密封机构，包括固定架、固定在固定架上的上真空模腔安装平台、竖直滑动连接于固定架上的下真空模腔安装平台，下真空模腔安装平台的下方设有在驱动电机的带动下进行上下移动的升降座；在升降座和下真空模腔安装平台之间安装有缓速连杆机构，用于在下真空模腔安装平台在所述升降座的带动下运动到最高点时，降低下真空模腔安装平台的垂直运动速度。本发明通过驱动电机以电驱动的方式带动升降座上下移动，并通过缓速连杆机构的动作实现上真空模腔安装平台和下真空模腔安装平台的分离和抵接，通过缓速连杆机构可降低机构运动末端的速度，防止真空上下腔在大冲击力情况下的变形，增加设备的稳定性。