[发明专利]一种基板传送装置有效
申请号: | 202110497590.3 | 申请日: | 2021-05-08 |
公开(公告)号: | CN113148657B | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
发明(设计)人: | 庞卫 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | B65G49/06 | 分类号: | B65G49/06;B65G39/04;B65G41/00 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 刘泳麟 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请提供一种基板传送装置,包括:机台、固定构件和导向滚轮;固定构件包括轴承座、传动轴和第一弹性结构;导向滚轮包括滚轴、滚轮和第二弹性结构;其中,传动轴通过所述第一弹性结构与轴承座连接,传动轴通过第一弹性结构可以在传动轴连接的方向上伸缩,滚轮通过第二弹性结构套在所述滚轴上。本申请通过增加第一弹性结构和第二弹性结构,减轻了基板在传送时,基板对基板传送装置的作用力,同时缓解了基板传送装置在传送基板时,内部产生较大的相互作用力导致基板使用寿命减少的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 传送 装置 | ||
【主权项】:
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