[发明专利]一种多工位智能表面waviness量检测系统有效
申请号: | 202110489851.7 | 申请日: | 2021-05-06 |
公开(公告)号: | CN113188485B | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
发明(设计)人: | 吴江;孙继忠;曹葵康;周明;徐一华 | 申请(专利权)人: | 苏州天准科技股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30;G01M11/02 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 徐颖聪 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种多工位智能表面waviness量检测系统,包括检测台座、光源投影模组和图像光学采集模组,在检测台座的上表面上水平的并排设置多个载物台,光源投影模组角度可调的设置在多个载物台上方;图像光学采集模组角度和间距可调的设置在多个载物台上方,且与光源投影模组邻接设置,图像光学采集模组的相机个数与载物台个数相等;系统使用条纹反射法,利用PMD原理,同时对多个待测件采集的条纹图像并进行计算得到曲率,来实现对镜面或类镜面待测件waviness的量检测,结构简单可调节,可适应不同规格镜面/类镜面待测件的waviness的精确零检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 多工位 智能 表面 waviness 检测 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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