[发明专利]具有钝化层的薄膜体声波谐振器及制备方法在审
| 申请号： | 202110449910.8 | 申请日： | 2021-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN113162568A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 高安明;姜伟 | 申请（专利权）人： | 浙江信唐智芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 李佳俊;郭国中 |
| 地址： | 325024 浙江省温州市龙湾区永中街道温*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种具有钝化层的薄膜体声波谐振器及制备方法，包括衬底、压电层、底部电极、顶部电极、第一钝化层以及第二钝化层；压电层设置在衬底的上方，所述压电层与衬底之间设置有空气腔，底部电极设置在压电层和衬底之间，顶部电极设置在压电层的上方；第一钝化层将顶部电极和压电层完全覆盖，第二钝化层位于第一钝化层的上方并将其完全覆盖。采用空气腔，在衬底和谐振器震荡区域之间形成金属和空气的交界面，有助于将声波限制在震荡堆内，提高了谐振器的机械强度；通过第一钝化层和第二钝化层配合，可以有效地隔离谐振器与外界环境，降低谐振器的温度漂移系数，并可以通过削整第二钝化层厚度灵敏地调整谐振器的谐振频率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 钝化 薄膜 声波 谐振器 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江信唐智芯科技有限公司，未经浙江信唐智芯科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110449910.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
