[发明专利]双模式非制冷红外探测器热敏层结构及其制备方法

摘要

本发明提供了一种双模式非制冷红外探测器热敏层结构及其制备方法，该热敏层结构包括保护层以及位于保护层上方的热敏薄膜层，所述热敏薄膜层包括分两侧设置的非晶锗硅薄膜和VOx薄膜。本发明可以用于双模式非制冷红外探测器，在需要NETD低的场景，VOx薄膜投入工作，探测器进入VOx基红外探测模式；在需要响应率高的场景，非晶锗硅薄膜投入工作，探测器进入非晶锗硅基红外探测模式；需要高质量静态红外场景拍摄时，VOx薄膜和非晶锗硅薄膜同时投入工作，两种模式共同工作；因此本发明适用于不同的工作场景，应用范围广，成本低。