[发明专利]超导SFQ标准工艺参数线下自动检测系统有效
| 申请号： | 202110442272.7 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113049908B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 牛明慧;任洁;刘焕丽;张辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 | 代理人： | 钱文斌 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供的一种超导SFQ标准工艺参数线下自动检测系统，所述系统包括：两台可编程高精度直流电流源，为待测单元提供激励电流；可编程高精度电压表，测量待测单元电压；可编程开关矩阵，分别接入各可编程高精度直流电流源和可编程高精度电压表，并连接到一或多个待测单元；低通滤波模块，分别接于两台可编程高精度直流电流源、及可编程高精度电压表与可编程开关矩阵之间，以滤除高频噪声；上位机，用于与可编程模块进行通讯交互；接线端子板，与测试治具连接以装载待测单元。本申请能够提高超导SFQ标准工艺参数线下检测的精度和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 超导 sfq 标准 工艺 参数 自动检测 系统 | ||
【主权项】：
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