[发明专利]一种光学相控阵及其制备方法在审
| 申请号： | 202110432630.6 | 申请日： | 2021-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN113176694A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 颜鑫;付天阳;张霞 | 申请（专利权）人： | 北京邮电大学 |
| 主分类号： | G02F1/29 | 分类号： | G02F1/29;G02B27/28;G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 苗晓静 |
| 地址： | 100876 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种光学相控阵及其制备方法，所述光学相控阵包括：衬底层、偏振分束器、至少两个功率分束器以及多个无源相差产生结构；其中，所述偏振分束器与至少两个功率分束器连接，每个功率分束器分别与多个无源相差产生结构连接，且所述偏振分束器、功率分束器以及无源相差产生结构均刻蚀于衬底层上。本申请实施例通过偏振分束器、至少两个功率分束器以及多个无源相差产生结构构建结构紧凑的光学相控阵，具有小尺寸、低功耗、大角度、高精度等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 相控阵 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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