[发明专利]一种光学腔气压传感器在审
| 申请号： | 202110400817.8 | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN113218564A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 李永选 |
| 主分类号： | G01L11/02 | 分类号： | G01L11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 711700 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种光学腔气压传感器，封闭壳体包括依次首尾连接的第一外壁、第二外壁、第三外壁以及感压膜；封闭壳体内设置有内壁，内壁一端连接第一外壁，另一端通过无序的纳米团簇连接第二外壁；第一外壁、内壁、无序的纳米团簇、第二外壁、第三外壁以及感压膜组成第二封闭腔体；反射部设置在第三外壁上，反射部与无序的纳米团簇之间具有间距；感压膜受到外界气压发生形变，第二封闭腔体内的气压会发生变化，间距大小会发生变化。本发明根据气压不同时，无序的纳米团簇、反射部以及两者之间的气室构成的光学腔厚度不同，反射光的波长不同来检测气压。由于反射光的波长受此光学腔的厚度变化非常敏感，所以本发明具有极高的检测灵敏度和检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 气压 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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