[发明专利]一种高可靠大容量吸氢泵及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110396561.8 申请日: 2021-04-13
公开(公告)号: CN113123991B 公开(公告)日: 2022-09-23
发明(设计)人: 郭卫斌;薛函迎;柴云川;王浏杰 申请(专利权)人: 南京华东电子真空材料有限公司
主分类号: F04D29/02 分类号: F04D29/02;B22F7/02;B22F3/11
代理公司: 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 代理人: 李国政
地址: 210034 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明是一种高可靠的大容量吸氢泵,其特征是:1)采用非蒸散型吸气合金作为有效吸气材料;2)由非蒸散型吸气合金制作的吸气元件整体是非均匀的,具有三明治结构。其表面除了具有数微米、数十微米的小孔隙,还有大于100微米的大孔隙,中间层只有数微米、数十微米的小孔隙;3)由非蒸散型吸气合金制作的吸气元件经氮化处理。优点在于:通过吸气元件的三明治结构和氮化处理,可以加大芯部吸气合金吸附和扩散氢气的机率,提高吸气元件芯部的利用率,使得采用较厚的吸气元件成为可能,从而提高吸氢泵的可靠性和吸氢容量。通过本发明,可满足需要大量吸氢的领域对吸气剂泵提出的大容量、高可靠的要求。
搜索关键词: 一种 可靠 容量 吸氢泵 及其 制备 方法
【主权项】:
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