[发明专利]压阻式微型电场传感器及其制备方法、电场传感器在审
| 申请号： | 202110386099.3 | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN113092885A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 彭春荣;李嘉晨;郑凤杰;毋正伟;任仁;吕曜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空天信息创新研究院 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;G01R29/08;G01L1/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘歌 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种压阻式微型电场传感器及其制备方法、电场传感器，其中压阻式微型电场传感器包括：衬底；设置在衬底顶部的锚区；与锚区连接的压阻拾振元件，用于将电场强度转化为电阻值变化；以及悬空设置在衬底上方的振动薄膜，振动薄膜通过支撑梁与压阻拾振元件连接，用于感应电场的变化；振动薄膜在电场力作用下产生位移，从而导致压阻拾振结构的阻值发生改变。本发明公开的压阻式微型电场传感器不需要额外引入驱动电压，具有功耗低、可实现交直流宽频带电场测量的特点，并且压阻检测得到的信号更强，信噪比高，同时体积小、结构简单，有益于实现批量化制造和系统集成。 | ||
| 搜索关键词： | 式微 电场 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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