[发明专利]一种基于单悬臂梁的差分式光声光谱气体检测装置在审

专利信息
申请号: 202110384019.0 申请日: 2021-04-09
公开(公告)号: CN113218873A 公开(公告)日: 2021-08-06
发明(设计)人: 王邸博;廖建平;熊佳明;高帆;黄之明;陈宇飞 申请(专利权)人: 南方电网科学研究院有限责任公司;中国南方电网有限责任公司超高压输电公司检修试验中心
主分类号: G01N21/17 分类号: G01N21/17;G01N21/39;G01N21/45;G01N19/00
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 麦小婵;郝传鑫
地址: 510000 广东省广州市萝岗区科*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种基于单悬臂梁的差分式光声光谱气体检测装置,所述装置包括:黑体辐射器发出的激光光束经过斩波器调制后分为两束,分别通过位于第一光声池端部和第二光声池端部的透光玻璃射入第一光声池和第二光声池内;硅微悬臂梁设置于第一光声池和第二光声池的连通处;第一光声池分为第一样品腔室和第一检测腔室,且第一样品腔室和第一检测腔室相互隔离,第一检测腔室上安装有激光干涉仪,激光干涉仪与差分信号处理模块的输入端相连接,差分信号处理模块的输出端与上位机相连接;第二光声池分为第二样品腔室和第二检测腔室,且第二样品腔室和第二检测腔室相互隔离。本发明通过单悬臂梁的设计和差分处理有效减少了系统误差,提高了检测灵敏度。
搜索关键词: 一种 基于 悬臂梁 分式 声光 气体 检测 装置
【主权项】:
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