[发明专利]一种自旋式热屏快速清理装置和使用方法在审
| 申请号： | 202110307867.1 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113070298A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 郑伟扬;王思锋;周宇;李莎;焦岳卫 | 申请（专利权）人： | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032;B08B13/00;C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 755099 宁*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自旋式热屏快速清理装置和使用方法，所述装置包括挂钩组件、第一腔体、第二腔体和第三腔体，挂钩组件贯穿第一腔体的一端面，与第一腔体转动连接；第一腔体的另一端面与第二腔体的一端面固定连接；第二腔体的另一端面与第三腔体的一端面固定连接；第二腔体包括氩气腔体、排气腔体和固定在氩气腔体和排气腔体间的隔板；氩气腔体的侧面固定连接有进气阀，排气腔体与第三腔体连通；隔板上固定连接有热敏开关控制阀，热敏开关控制阀固定连接有回旋式排气道；第三腔体内固定连接有涡轮式导气盘，第三腔体侧面开设有两个以上的排气孔。使用该装置能够将热屏内壁的硅粉清理干净，避免拉晶时硅粉掉落对于炉台成晶的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自旋 式热屏 快速 清理 装置 使用方法 | ||
【主权项】：
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