[发明专利]一种用于面板缺陷检测的物镜对焦方法、装置及系统在审
| 申请号： | 202110294748.7 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113219622A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 王绍凯;童光红;黄运;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈工大机器人（中山）无人装备与人工智能研究院 |
| 主分类号： | G02B7/36 | 分类号： | G02B7/36;G03B13/36;G01N21/95;G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京隆源天恒知识产权代理事务所(普通合伙) 11473 | 代理人： | 徐苏明 |
| 地址： | 528400 广东省中山市翠亨新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种用于面板缺陷检测的物镜对焦方法、装置及系统，涉及面板检测技术领域。本发明所述的用于面板缺陷检测的物镜对焦方法，包括：根据基准面板确定相机物镜的对焦层；将所述相机物镜移动至所述对焦层，通过相机采集待检测面板的图像；调整所述相机物镜与所述待检测面板的距离，以使所述相机采集所述待检测面板的多张图像；比较多张所述图像的清晰度，确定清晰度最高的图像，以根据所述清晰度最高的图像对应的位置确定所述相机物镜的对焦位置。本发明所述的技术方案，根据基准面板确定的对焦层确定待检测面板的对焦位置，保证μ级缺陷能够清晰成像，进而实现对缺陷的正确分类以满足面板缺陷检测的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 面板 缺陷 检测 物镜 对焦 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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