[发明专利]一种分离并收集ITO残靶中靶材与残留铟的系统及方法在审
| 申请号： | 202110273871.0 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113106253A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 肖红军;刘鸿飞;张文涛 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C22B7/00 | 分类号： | C22B7/00;C22B58/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;黄华莲 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分离并收集ITO残靶中靶材与残留铟的系统，包括：加热装置：其包括加热件，用于加热ITO残靶，所述加热件能到将所述ITO残靶的温度加热至铟的熔点与靶材的熔点之间；离心分离装置：其包括ITO残靶容器和离心驱动装置，所述ITO残靶容器位于所述加热件内，所述残靶容器受所述离心驱动装置的驱动而旋转；所述ITO残靶容器用于放置所述ITO残靶，放置于所述ITO残靶容器内的ITO残靶能够随之一同旋转；收集装置，收集靶材和甩离所述靶材表面的液态铟。本发明还公开了一种分离并收集ITO残靶中靶材与残留铟的方法。这种分离并收集ITO残靶中靶材与残留铟的系统和方法结构简单高效，便于控制和使用，能够方便地用于分离靶材与其表面残留的铟。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分离 收集 ito 残靶中靶材 残留 系统 方法 | ||
【主权项】：
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