[发明专利]一种颗粒硅区熔检测采样装置有效
申请号: | 202110254573.7 | 申请日: | 2021-03-09 |
公开(公告)号: | CN113008622B | 公开(公告)日: | 2022-07-26 |
发明(设计)人: | 张孝山;汪成洋;陈斌;宗冰 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
主分类号: | G01N1/10 | 分类号: | G01N1/10 |
代理公司: | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人: | 张巨箭 |
地址: | 810007 青海*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本发明属于颗粒硅生产领域,具体公开了一种颗粒硅区熔检测采样装置,该装置包括区熔炉(1)和在区熔炉(1)内部从上到下依次设置的籽晶夹持器(2)、加热线圈(3)、颗粒硅容纳装置,颗粒硅容纳装置包括多组不同口径的容纳管(4)用于容纳不同尺寸的颗粒硅(41),所述颗粒硅(41)的尺寸与对应容纳管(4)的口径匹配,所述容纳管(4)为高纯硅管,用于容纳颗粒硅(41);所述容纳管(4)具有上端口,所述上端口位于所述加热线圈(3)下方,所述容纳管(4)的底端连接有氩气管道(6),本发明将颗粒硅置于高纯硅管中,避免颗粒硅受其他设备等带来杂质的影响,同时设计多组不同口径的容纳管(4)实现不同尺寸颗粒硅的检测采样。 | ||
搜索关键词: | 一种 颗粒 硅区熔 检测 采样 装置 | ||
【主权项】:
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