[发明专利]多晶硅工艺保险丝的熔断装置及方法有效
| 申请号： | 202110248636.8 | 申请日： | 2021-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN112630628B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 傅郁晓;吴庆;陈迎涛;杨栓;张丽霞 | 申请（专利权）人： | 上海伟测半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H01H85/32 |
| 代理公司： | 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 | 代理人： | 王仙子 |
| 地址： | 201201 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种多晶硅工艺保险丝的熔断装置及方法。本发明提供的多晶硅工艺保险丝的熔断装置包括熔断自检模块，所述熔断自检模块连接至待处理芯片的保险丝管脚，用于检测保险丝功能是否正常；熔断执行模块，第一端用于连接所述待处理芯片需要熔断的保险丝的管脚，第二端连接所述待处理芯片的低电平输出端，第三端连接所述待处理芯片的高电平输出端，从而使得电压在10nS时间内从0上升到工作电压且无向下振荡现象；以及绝缘电阻检测模块，用于检测熔断后的保险丝的电阻。本发明能够提高多晶硅工艺保险丝熔断的良率和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 工艺 保险丝 熔断 装置 方法 | ||
【主权项】：
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