[发明专利]用于测试薄膜反射率的装置及薄膜反射率的测试方法有效
| 申请号： | 202110182964.2 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN112964456B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 顾跃凤 | 申请（专利权）人： | 上海天马微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01N21/55;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人： | 于淼 |
| 地址： | 201201 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于测试薄膜反射率的装置及薄膜反射率的测试方法，属于光学技术领域，用于测试薄膜反射率的装置的支架组件包括支架底座和支架底座上的伸缩杆；伸缩杆远离支架底座的一端设有固定圈，载体棒通过套接于固定圈内与伸缩杆的一端固定连接，载体板固定设置于载体棒的一端；载体板上开设有多个通孔，载体板通过穿过通孔的固定夹固定待测薄膜；待测薄膜包括薄膜本体和基底，载体板的折射率与基底的折射率差值小于或等于0.05。薄膜反射率的测试方法使用上述用于测试薄膜反射率的装置进行薄膜反射率的测试工作。本发明能够尽可能消除基底背面的反射，使薄膜反射率的测试值更加贴近真实值，减小测试误差。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 薄膜 反射率 装置 方法 | ||
【主权项】：
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