[发明专利]一种硅晶棒取料系统有效

专利信息
申请号: 202110167346.0 申请日: 2021-02-07
公开(公告)号: CN112978354B 公开(公告)日: 2022-08-19
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 新一代半导体研究所(深圳)有限公司
主分类号: B65G47/90 分类号: B65G47/90;B65G47/26;B65G47/22;B65G47/82
代理公司: 深圳市国亨知识产权代理事务所(普通合伙) 44733 代理人: 李夏宏
地址: 518000 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种硅晶棒取料系统,包括工作台、盛料装置、支撑装置和取料装置,所述的盛料装置包括矩形空心架、盛料板、一号电动推杆、第一推板、水平板、二号电动推杆、第二推板和隔离架,本发明通过设置的工作台、盛料装置、支撑装置和取料装置的配合,首先将需要进行取料的硅晶棒放置到盛料装置中,盛料装置可以根据不同的直径对硅晶棒进行有序排列,从而提高了机械的适用性,此时在通过设置的支撑装置对不同长度的硅晶棒进行限位,使得硅晶棒位于取料装置的正中心位置,最后通过取料装置将硅晶棒进行取料,设置的取料装置使得再对硅晶棒进行取料时不会发生倾斜现象。
搜索关键词: 一种 硅晶棒取料 系统
【主权项】:
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