[发明专利]一种基于双波导腔Fano共振装置的双参量测量方法有效
| 申请号： | 202110167139.5 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN112945307B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 王贤平;蔡文娟;张颖聪;殷澄;袁文;罗海梅;李俊;桑明煌 | 申请（专利权）人： | 江西师范大学 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 孙永生 |
| 地址： | 330095 *** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于双波导腔Fano共振装置的双参量测量方法，旨在解决现有技术中双参量测量的准确性和灵敏度不足等问题。其包括：利用双波导腔Fano共振装置获得不同电压对应的非对称Fano共振曲线；基于非对称Fano共振曲线获得两预设入射角度下的反射光强变化量；基于双参量传感逆矩阵和反射光强变化量实时获得不同电压下双波导腔Fano共振装置的折射率变化量和厚度变化量；其中，双波导腔Fano共振装置包括依次连接的第一金属层、第一介质层、第二金属层、第二介质层和第三金属层，且第一介质层的厚度小于第二介质层的厚度。本发明能够实现波导厚度和折射率的双参量实时测量，测量串扰低，灵敏度和准确性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 波导 fano 共振 装置 参量 测量方法 | ||
【主权项】：
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